![]() Procede d'amelioration de la selectivite de mesures spectrometriques, ainsi que dispositif perme
专利摘要:
公开号:WO1987000273A1 申请号:PCT/EP1986/000395 申请日:1986-07-04 公开日:1987-01-15 发明作者:Karl Cammann 申请人:Karl Cammann; IPC主号:H01J49-00
专利说明:
[0001] Verfahren zur Selektivitätsverbesserung spektro etrischer Messungen, sowie Vorrichtung zur Ihirchfüi ung des Verfahrens [0002] Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Hauptanspruches, sowie eine Vorrichtung nach Patentanspruch 5. [0003] Ein wesentliches Problem bei allen spektrometri sehen Messungen der eingangs genannten Art besteht darin, daß zum einen der Durc laßbereich bekannter Filteranordnungen nur bis zu einer minimalen Breite eingeengt werden kann - und zwar sowohl aus physikalischen, wie auch aus technischen Gründen -, zum anderen die durch ein sehr schmal bandi ges Filter gelangende Energie, die nachfolgend in einem Detektor nachgewiesen werden soll , gering ist. Weiterhin sind bei spektrometrischen Messungen immer Untergrundsprobleme zu berücksichtigen. Hierbei dreht es sich im wesentlichen darum, daß nicht nur das von der Probe beeinflußte oder hervorgerufene Signal einen Beitrag zum Meßergebnis liefert, sondern proben¬ fremde Substanzen einen wesentlichen Signalbeitrag - eben den Untergrund - liefern. Schließlich sini auch die Meßanordnungen störungsbehaftet, d.h. zwischen Signal¬ quelle und Detektor treten Störgrößen auf, die einen Beitrag zum Meßergebnis liefern. Alle diese Störgrößen gilt es so weit wie möglich auszuschalten. [0004] Bei der optischem Emissionsspektroskopie, die eine wich¬ tige Analysemethode zur. Bestimmung von chemischen Ele¬ menten in- allen möglichen Matrizes ist, verwendet man ~ heute als Emissionsquelle ein Plasma, in dem die zu untersuchende Substanz zur Strahlung angeregt wird. Um eine besonders hohe Auflösung bei der Messung zu bekommen, verwendet man heute vielfach Monochromatoren , die aufgrund ihres Arbeitsprinzips voluminös, anfällig 0 gegenüber Temperaturschwankungen und Erschütterungen sind. Für den Feldeinsatz eignen sich diese Geräte in keinem Fall. Schließlich sind die Geräte auch sehr teuer, so daß sich nur der intensive Laboreinsatz (durch mehrere Benutzer) lohnt. Dreht es sich z.B. darum, daß 5 man eine optische Spektralanalyse nur für bestimmte [0005] Elemente durchführen will, die gegebenenfalls zuvor chro¬ matographisch getrennt wurden, so benötigt man in vie¬ len Fällen keinen solch aufwendigen Monochromator, der ja das ganze Spektrum analysierbar macht. Kompakte klei- 0 nere Chromatoren sind aber wesentlich weniger empfind¬ lich und weisen auch eine schlechtere Auflösung auf. Für die klinisch angewandte Fl ammenphotometri e für Li, Na, K und Ca-Bestimmungen verwendet man feststehen¬ de Interferenzfilter, wobei diese jedoch eine sehr große 5 Bandbreite bzw. Halbwertsbreite der Wellenl ngendurch¬ lässigkeit aufweisen (beste Interferenzfilter: 0,1 nm; Monochromator: 0,01 nm). Dadurch gelangt ein erheblicher Anteil des Konti nuu l i chtes jeder Strahl ungsquel 1 e (Flammen- oder Plasma-Untergrund) auf den Detektor (Foto¬ zelle oder Fotomul ti pl i er) , was die Selektivität und die Nachweisgrenze verschiebt. Die Nachweisgrenze wird insbesondere durch das Licht-Intensitätsverhältnis von Analyt-Linie zur Untergrundstrahlung bestimmt. Schwache Linien-Intensitäten, wie sie bei der Spurenanalyse (Umwelt-Spuren-Analytik) auftreten, lassen sich dann nicht mehr aus einer statistisch verteilten Untergrund¬ intensität herausfiltern. [0006] Ein wesentliches Problem bei Geräten mit feststehender Wellenlänge (auch aufwendige Monochromatoren) liegt darin, daß unter Umständen grobe Fehl messungen vorkom¬ men und unerkannt bleiben. Dies ist immer dann der Fall, wenn eine echte Probe zusammen mit Matrixstoffen einge¬ führt wird. Diese verändern dann den Untergrund der spektroskopischen Strahlungsquelle. Zur Abschätzung die¬ ser Analysefehler kann man die Selektivität definieren: [0007] CΛ1 „,,+,•„,• + S Signal/iumol Analyt [0008] Selektivität = - Sm-i→g—na ~l-/rj-u—mol .—Frem id—s.t—o _f_-f- [0009] bei der betreffenden, fest eingestellten Wellenlänge. [0010] Die Selektivität aufwendiger Monochromatoren ist in der Regel nicht besser als 103. D.h., daß ein 103-facher Überschuß eines Fremdstoffes (z.B. Na bei der klinischen Bestimmung von Li oder C bei der chromatographischen Hai ogenidbestim ung ) einen Fehler von 100 % verursacht. [0011] Mit feststehenden Interferenzfiltern sind heutzutage nur Selektivitäten unter 100 und auch viel schlechtere Nachweisgrenzen erzielbar. [0012] Die oben genannten Probleme treten auch bei anderen spek¬ trometri sehen Messungen auf, z.B. bei der Messung von Atomabsorptions- oder Emissionsspektren (einschließlich Fluoreszenz- und Ramanspektren ) oder bei Messungen von Massenspektren. In jedem Falle dreht es sich um das Problem Selektivität bzw. störender Untergrund. [0013] Ausgehend vom oben genannten Stand der Technik ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Selektivitätsverbesserung aufzuzeigen, bei dem mit ein¬ fachen Mitteln größere Verbesserungen erzielbar sind. [0014] Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß man die Filteran¬ ordnung periodisch gegenüber dem zu untersuchenden Spektral berei ch derart verschiebt (oder umgekehrt), daß das durch die Filteranordnung gelangende Spektralband über den zu untersuchenden Spektral ereich periodisch verschoben wird, und daß man das Detektorausgangssig¬ nal über einen phasenempfindlichen Gleichrichter (Lock- i n-Verstärker ) zur Anzeige bringt, dessen Phasenreferen.z- signal der Verschiebung proportional ist. [0015] Durch diese überraschend simplen Maßnahmen wird eine extrem hohe Selektivität erzielt, selbst wenn die Fil¬ teranordnung eine geringe Güte aufweist. Es konnte in einem Versuch (Nachweis von Chlor) eine Selektivität von über 10 mit einem handelsüblichen Interferenzf l¬ ter erzielt werden. Die erzielbare Selektivität liegt also in dem Bereich, der sonst nur mit sehr aufwendigen Apparaturen erzielbar ist. [0016] Anstelle einer Verschiebung des Filter-Durchlaßbereiches ist es auch möglich, den zu untersuchenden Spektralbe¬ reich zu verschieben. Dies geht bei der Untersuchung im Wel 1 enl ngenbereich von Licht nur dann unter Zuhilfenahme von Doppl erverschi ebungseffekten, wenn es sich um sehr schmale Filter-Durchlaßbereiche handelt, da sonst die hohen Geschwindigkeiten zur Erzielung hinreichender Frequenzverschiebungen nur schwer erzielbar sind. Bei der Untersuchung von Massenspektren kann man das er¬ findungsgemäße Verfahren ebenfalls anwenden, wobei man hier entweder das Spektrum verschiebt (durch Änderung des Magnetfeldes oder durch ein zusätzliches elektrosta- tisches Ablenkfeld), oder durch periodische Verschiebung der Spaltanordnung. [0017] Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Unteransprüchen aufgezeigt. Weitere erfindungswesentliche Merkmale ergeben sich aus den nachfolgenden Ausführungs¬ beispielen, die anhand von Abbildungen näher beschrieben sind. Hierbei zeigt: [0018] Fig. 1 eine schematisierte Darstellung einer Anord¬ nung zur Untersuchung von Lichtspektren, [0019] Fig. 2 die Darstellung des sich aus der Drehung ei nes Interferenzfilters ergebenden Effektes, [0020] Fig. 3 eine weitere bevorzugte Ausführungsform der Erfi ndung , [0021] Fig. 4 eine Anordnung zur Untersuchung von Spektren in verschiedenen Bereichen, und [0022] Fig. 5 eine Anordnung ähnlich der nach Fig. 1 , jedoch mit einem elektrisch abstimmbaren Filter, [0023] Fig. 6/7 Spektrogramme , die mit einer Anordnung gemäß Fig. 1 aufgenommen wurden. [0024] In Fig. 1 ist der prinzipielle Versuchsaufbau zur Durch¬ führung des erfindungsgemäßen Verfahrens im Rahmen licht- spektroskopischer Untersuchungen aufgezeigt. Mit 1 ist hierbei die Lichtquelle bezeichnet, ein "Plasmabrenner", dem über einen Anschluß 2 ein Probengas zugeführt wird. Der Quelle 1 ist eine geeignete optische Anordnung nachgeschaltet, so daß ein im wesentlichen paralleles Lichtbündel L erzeugt werden kann, das auf ein Inter¬ ferenzfilter 11 fällt. Das Interferenzfilter 11 ist mit einem Motor 12 derart gekoppelt, daß das Filter 11 um einen Winkel c- verschwenkt werden kann. Die Durchlaßkurve des Filters 11 ist - wie in Fig. 2 gezeigt - vom Auffalls¬ winkel °- bzw. vom Kippwinkel des Filters zum Lichtbün¬ del L abhängig. Das aus der Filteranordnung 10 kommende Lichtbündel L' ist auf einen Detektor 4, z.B. einen ge¬ kühlten Fotovervielfacher gerichtet. Das Ausgangssignal des Detektors 4 wird auf den Eingang eines phasenempfind¬ lichen Gleichrichters bzw. Lock-i n-Verstärkers 30 ge¬ führt, dessen Ausgangssignal U, einer Messanordnung 50 α zugeführt wird. Im allgemeinen verwendet man hier Schrei ber, Anzeigeschirme oder dergleichen. Der Phaseneingang / des Lock-i n-Verstärkers 30 ist mit dem Ausgang eines Steuergenerators 40 verbunden, der ein Steuersignal Uy liefert. Der Steuergenerator 40 kann auch Bestandteil eines handelsüblichen Lock-i n-Verstärkers 30 sein. Weiterhin ist das Phasensignal U > auf den Eingang des Motors 12 geführt, so daß auf dem Phasenei ngang f ein Signal liegt, das dem Verschwenkungswi nkel <X proporti o- nal ist (oder der Motor liefert selbst das Referenzsig- nal für den Lock-in). Da wiederum die Lage der Filter¬ durchlaßkurve proportional dem Winkel ^ist, wird so die Verstärkung des Lock-i n-Verstärkers 30 porportional der Lage des Filterdurchlaßbereiches verändert. [0025] Es ist in der in Fig. 1 gezeigten Anordnung auch mög¬ lich, anstelle einer Linsenanordnung eine (wesentlich einfachere und kostengünstigere) Li cht1 ei eranordnung zu verwenden, wenn man die Lichtleiteraustrittsfl che nahe genug an das Filter 11 heranführt, so daß das Streulicht keinen allzu großen Effekt auf eine Verbrei¬ terung der Durchlaßkurve mit sich bringt. In Fig. 3 ist eine Anordnung gezeigt, bei der das Fil¬ ter 11 feststeht, vor dem Filter 11 aber eine Spiegelan¬ ordnung 14 in den Weg des Lichtbündels L eingebracht ist. Die Spiegelanordnung 14 ist ebenfalls wieder moto¬ risch bewegbar. Dadurch, daß man den Spiegel verschwenkt, wird das- Lichtbündel L in der einen Spiegellage im we¬ sentlichen senkrecht zur Oberfläche des Filters 11 ge¬ führt, in der anderen Spiegellage trifft es unter dem Winkel auf das Filter 11 auf. Dem Filter 11 ist eine Sammellinse 15 nachgeschaltet, die das gefilterte Licht¬ bündel L1 auf den Detektor 5 fokussiert. [0026] Sowohl in dem in Fig. 1 als auch in dem in Fig. 3 ge¬ zeigten Ausführungsbeispiel kann das Filter 11 bzw. der Spiegel über einen Galvanometermotor schwenkbar gelagert sein. Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der Er¬ findung sieht aber eine Torsionsfederlagerung des Fil¬ ters 11 bzw. des Spiegels vor, die im Resonanzbetrieb arbeitet. Derartige Anordnungen mit Spiegel sind als soge¬ nannte "Festfrequenz-Resonanzscanner" im Handel erhält¬ lich und machen Schwenkfrequenzen bis über 10 kHz mög¬ lich. Vorteilhafterweise wird hierbei das Filter bzw. der Spiegel im Vakuum gehalten, damit die Dämpfungsei¬ genschaften der Luft ausgeschal et werden. [0027] Bei einer weiteren, hier nicht gezeigten Ausführungs¬ form der Erfindung, sind mehrere Spiegel über den Umfang einer drehenden Trommel verteilt. Auch in diesem Fall wird das reflektierte Lichtbündel auf ein feststehendes Filter gerichtet, wobei es auf diesem eine sägezahnför- mige Wanderung unter sägezahnförmi ger Änderung des Winkels macht. [0028] Bei der in Fig. 4 gezeigten Anordnung sind mehrere Fil ter 11 , 11 ' 11" in einem gemeinsamen rotorförmi gen Linsengehäuse 16 gehalten. Die Filter (-Paare) 11 , 11 ' und 11" weisen jeweils voneinander abweichende Durchlaßbereiche auf, so daß zum einen durch die Drehung des Gehäuses 16 jedes einzelne Filter (-Paar) 11, 11 ' und 11" in seinem Durchlaßbereich entsprechend dem variierenden Auftreffwinkel verschoben wird und zum anderen nacheinander alle Filterpaare 11, 11' und 11" in den Strahlengang zwischen Quelle 1 und Detektor 4 gebracht werden. Auf das jeweils zweite Filter kann selbstverständlich auch verzichtet werden. [0029] Der Detektor 4 ist auf den Eingang eines Multiplexers 13 geführt, dessen Ausgänge mit drei Lock-i n-Verstärkern 30 bis 30" mit separaten Anzeigeelementen 50 bis 50" versehen sind. Die Steueranordnung 40 steuert auch den Multiplexer 13 derart, daß je nach zugeordnetem Filter 11, 11' , 11" ein entsprechender Lock-i n-Verstärker 30, 30' und 30" angesteuert wird. Darüberhi naus wird das Phasensignal U j> von der Steueranordnung 40 erzeugt und sowohl dem Motor 12 für die Filteranordnung 10, als auch den Lock-i n-Verstärkern 30 bis 30" zugeführt. [0030] Selbstverständlich kann ein Demul i pl exer den Lock-in- Verstärkern nachgeschaltet werden, so. daß man nur eine einzige Anzeigeanordnung benötigt. Vorteilhafterweise verwendet man aber einer der Kanalzahl entsprechende An¬ zahl von Lock-i n-Verstärkern , da deren obere Grenzfre¬ quenzen jeweils möglichst niedrig gewählt werden sollen. [0031] In Fig. 5 wird eine weitere bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anordnung gezeigt. Diese unterschei- det sich von der nach Fig. 1 dadurch, daß als Filteran¬ ordnung 10 ein elektrisch abstimmbares Filter verwendet wird. Derartige Filter bestehen aus einem Te02-Kri stal 1 , in das über einen Ul trasehal 1wand! er 18 Seher-Wellen indu¬ ziert werden, die durch das Kristall wandern. Dabei wird aufgrund des Bragg-Effektes eine Filterwirkung er¬ zielt, deren Frequenz- (Wellenlängen-) läge von der induzierten Ul trasehal 1 -Frequenz abhängt. Der ausfallende l Strahl L' ist also ein schmal bandi ger Ausschnitt aus dem einfallenden Strahl L und gelangt auf den Detektor 4. Die Strahlen L" werden nicht verwendet (andere bzw. keine Filterung) . Da die Frequenzlage der Filteranordnung [0032] 5 10 von der Frequenz der induzierten Ul trasehal 1 wel 1 e abhängt, ist zwischen den Phasengenerator 40 und den Ul¬ traschal 1 wand! er 18 ein spannungsgesteuerter Oszilla¬ tor (VCO) 19 geschaltet. Somit ist auch bei dieser An¬ ordnung die Frequenzlage des analysierten Lichtstrahles Q L' der Ausgangsspannung U > des Phasengenerators 40 proportional . [0033] Im folgenden werden anhand der Fig. 6 und 7 Meßergeb¬ nisse gezeigt, die mit einer Anordnung, ähnlich der •j_5 nach Fig. 1 gewonnen wurden. • [0034] Fig. 6 zeigt ein chlorspezifisches Chromatogramm (Kapil¬ larsäule), bei dem das Filter 11 ein Interferenzf'i 1 ter mit einer Halbwertsbrei e von etwa 0,1 nm war. Das Filter [0035] 2Q wurde mittels eines Elektromotors mit einer Oszillations¬ frequenz von 7 Hz verkippt (höhere Frequenzen ergeben noch weitaus bessere Ergebnisse) . Mit I ist der Lösungsmit- tel-peak bezeichnet, mit II der durch eine Menge von 40 ng 1 , 3, 5-Tri chl orbenzol erzeugte peak. Bemerkens- [0036] 25 wert ist hierbei auch, daß durch das erfindungsgemäße [0037] Verfahren bzw. die entsprechende Anordnung der "Nutzpeak" entgegengesetzt gerichtet ist zum Hi ntergrundspeak . Mit der stri chl i erten senkrechten Linie ist in Fig. 6 der rechte, mit langsamerem Papiervorschub aufgenommene Be¬ [0038] 30 reich vom linken, schneller aufgenommenem Bereich abge¬ trennt . [0039] In Fig. 7 ist ein chl orspezi fi sches Chromatogramm (Kapil¬ larsäule von nur 2 ng Chlor ( ! ) in Form von 1 , 3, 5- [0040] 35 Tri chl orbenzol gezeigt (peak III) , und zwaren neben einem [0041] 4 10 -fachen Überschuß an Kohlenstoff in Form von n-Dekan [0042] (peak I) sowie einem 10 -fachen Überschuß an Brom in Form von 1 , 4-Dibromutan (peak II) . Dadurch, daß Fremd¬ stoffe als negative peaks registriert werden, ergibt sich eine Selektivität von über 10 , d.h. absolute Spe- zifität. Beim peak IV handelt es sich um ein Signal , das durch ein kurzzeitiges Löschen des Plasmas (aufgrund eines Lösungsmi ttel Überschusses ) und nachfolgendes Zün¬ den entstanden ist. Weiterhin muß zu den Abbildungen bemerkt werden, daß die Lichtintensität in Fig. 6 mit der zehnfachen Verstärkung (siehe schematisiertes Koor¬ dinatensystem) gegenüber der nach Fig. 5 aufgezeichnet wurde . [0043] Als Ionenchromatographie-Detektor kann man beispiels- weise di e* analyti sehe Säule mit Li -Ionen anstelle von [0044] H oder OH -Ionen laden und die Lithiumemission des Eluats mit dem erfindungsgemäßen Verfahren messen. Ein solcher spektroskopischer Detektor ist wesentlich empfindlicher als der üblicherweise verwendete Leitfähigkeitsdetektor. Weiterhin kann man das erfindungsgemäße Verfahren als [0045] HPLC-Detektor verwenden, durch den alle Elemente wesent¬ licher empfindlicher und selektiver als die herkömmli¬ chen UV-Detektoren erfaßt werden, solange sie nicht im El uati onsmedi um anwesend sind.
权利要求:
Claims Patentansprüche: Verfahren zur Selektivitätsverbesserung spektrometri scher Messungen, wobei aus dem zu untersuchenden Spektral bereich mittels Filteranordnungen oder dergleichen ein schmales Spektralband ausgefiltert und einem Detektor zugeführt wird, dessen Ausgangssignal in einer Anzei ge-/Regi stri er- einrichtung angezeigt/registriert wird, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß man die Filteranordnung periodisch gegenüber dem zu untersuchenden Spektral ereich derart verschiebt (oder um¬ gekehrt) , daß das durch die Filteranordnung gelangende Spektralband über den zu untersuchenden Spektral erei ch H2 periodisch verschoben wird, und daß man das Detektor¬ ausgangssignal über einen phasenempfindlichen Gleich¬ richter (Lock-i n-Verstärker) zur Anzeige bringt, des¬ sen Phasenreferenzsignal der Verschiebung proportio¬ nal ist. 2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei Lichtspektren mittels optischer Filter, Monochromatoren oder dergleichen untersucht werden, dadurch gekennzeichnet, daß man das optische Filter bzw. den Monochromator in seinem Durchlaßbereich periodisch verschiebt. Verfahren nach Anspruch 1, wobei Absorbtions- oder Emissionsspektren (einschließlich Fluoreszenz- und Ramanspektren ) mittels Anregung durch schmal bandi ge Strahlung untersucht werden, dadurch gekennzeichnet, daß man die Frequenzlage der Strahlung, insbesondere mittels Doppel verschi ebung durch periodische Licht- wegl ängenveränderung (periodisch) verschiebt. 4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei di e spektrometri sehen Messungen Massenspektren betreffen, mit einem Sektor¬ magneten und einer Spaltanordnung, dadurch gekennzeichnet, daß man dem Sektormagnetfeld ein sich schnell perio¬ disch änderndes Wechselfeld überlagert und/oder die Spaltanordnung periodisch verschiebt und/oder ein zusätzliches, periodisch veränderliches elektrosta¬ tisches Ablenkfeld erzeugt. Vorrichtung zur Selektivi ätsverbesserung spektrome- trischer Messungen, wobei aus dem zu untersuchenden Spektral berei ch mittels Filteranordnungen (10) oder dergleichen ein schmales Spektralband ausgefiltert und einem Detektor (4) zugeführt wird, dessen Aus¬ gangssignal in einer Anzeige-/Registriereinrichtung -/3- 1 (50) angezeigt wird, gekennzeichnet durch eine abstimmbare Filteranordnung (10) oder eine abstimmbare Anordnung (20) zur Spektralverschiebung, ° sowie durch einen phasenempfindl chen Gleichrichter (Lock-in-Verstärker 30) und eine Steueranordnung (40), deren Ausgangssignal [ U y ) dem phasenempfindlichen Gleichrichter (30) als Phasensignal ( f ) und der Filteranordnung (10) bzw. Spektralverschiebungsan- !0 Ordnung (20) als Abstimmsignal zugeführt wird, wo¬ bei der phasenempfindliche Gleichrichter (30) zwi¬ schen Detektor (4) und Anzeige-/Registriereinrich- tung (50) angeordnet ist. -5 '6. Vorrichtung nach Anspruch 5 zur Durchführung eines Verfahrens nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Filter (11) ein solches ist, bei dem die Lage des Durchlaßbereiches vom Lichteinfallswinkel •20 ( 0. ) abhängig ist. 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, ^daß das Filter (11) mit einem Drehantrieb (12) gekop¬ 25 pelt ist, der das Filter um einen gewünschten Winkel¬ betrag (<X ) zum einfallenden Licht (L) dreht. 8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, 30 daß dem Filter (11) eine Spiegelanordnung (14) mit Drehantrieb derart vorgeschaltet ist, daß das ein¬ fallende Licht (L) unter e nem, dem Drehwinkel (ß) der Spiegelanordnung (14) proportionalen Winkel (σ ) auf das Filter (11) gerichtet wird. 35 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, -74- daß mehrere Filter (11, 11 ', 11") mit von einander verschiedenen Durchlaßbereichen vorgesehen sind, die abwechselnd verwendbar und durchstimmbar sind, und eine Mul ti plexeranordnung (13) derart mit der Steuer- anordnung (40) verbunden und dem Detektor (4) nach¬ geschaltet ist, daß die Filter (11, 11', 11") bzw. der Detektor (4) nacheinander verschiedene Spektral¬ bereiche abtasten, die getrennt angezeigt werden.
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公开号 | 公开日 DE3617123A1|1987-01-08| JPS63500540A|1988-02-25| DE3617123C2|1997-03-20| JPS63500267A|1988-01-28| EP0227766B1|1989-10-18| US4804271A|1989-02-14| EP0227766A1|1987-07-08|
引用文献:
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法律状态:
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